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D07系列模拟型号质量流量计

D07系列模拟型号质量流量计

型号:D07-19B


D07 系列质量流量控制器和质量流量计具有精度高、重复性好、响应速度快、软启 动、稳定可靠、工作压力范围宽等特点(可以在高压或真空条件下工作), 其操作使用方便, 可任意位置安装, 并便于与计算机连接实现自动控制。 D07 系列质量流量控制器和质量流量计一般与 D08 系列流量显示仪等产品配套使用, 控制器与显示仪之间用专用电缆连接

产品简介;

D07 系列质量流量控制器和质量流量计具有精度高、重复性好、响应速度快、软启 动、稳定可靠、工作压力范围宽等特点(可以在高压或真空条件下工作), 其操作使用方便, 可任意位置安装, 并便于与计算机连接实现自动控制。 D07 系列质量流量控制器和质量流量计一般与 D08 系列流量显示仪等产品配套使用, 控制器与显示仪之间用专用电缆连接
质量流量计(Mass Flow Meter 缩写为 MFM)用于对气体的质量流量进行精密测量;质 量流量控制器(Mass Flow Controller 缩写为 MFC)用于对气体的质量流量进行精密测量和 控制。它们在半导体微电子工业、特种材料研制、化学工业、石油工业、医药、环保和真 空等多种领域的科研和生产中有着重要的应用。其典型的应用场合包括: 电子工艺设备, 如扩散、氧化、外延、CVD、等离子刻蚀、溅射、离子注入; 以及真空镀膜设备、光纤熔 炼、微反应装置、混气配气系统、毛细管测量、气相色谱仪及其它分析仪器。 D07 系列质量流量控制器和质量流量计具有精度高、重复性好、响应速度快、软启 动、稳定可靠、工作压力范围宽等特点(可以在高压或真空条件下工作), 其操作使用方便, 可任意位置安


技术参数;
 

产品型号

D07-19B

产品类型

高精度型,快响应型

流量量程

5sccm,10sccm,20sccm,30sccm,50sccm,100sccm,200sccm,300sccm,500sccm,
1slm,2slm,3slm,5slm,10slm,20slm,30slm

产品精度

±1%F。S。(20slm 30slm ±2%F。S。)

重复精度

±0.2% FS

线性

±0.5% F.S.

响应时间

≤2sec

工作温度范围

(5~45)°C

耐压

3MPa

密封材料

氟橡胶Viton,氯丁橡胶(耐氨橡胶) Neoprene,聚四氟乙烯 Teflon

输入输出信号

(0~5)VDC

电源

±15V

阀类型

常闭

温度系数

- 无 -

零点飘移指标

- 无 -

电气连接

D sub 15 pins Male

工作压差范围

(0.1~0.3) MPa,(0.1~0.5) MPa

漏率

1×10-9atm•cc / sec He(1×10-10 Pa•m3 / sec He)

标准接头形式

双卡套1/8”(满量程>10slm不适用),双卡套Φ3(满量程>10slm不适用),双卡套Φ6,双卡套Φ10,双卡套3/8”,φ4(内)×1软管接头,VCR1/4”,双卡套1/4”,φ6(内)×1软管接头

表面化学成分

- 无 -

表面粗糙度

- 无 -

抗电磁干扰

CE

重量

0.95kg


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