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CS200A数字质量流量计

CS200A数字质量流量计

型号:CS200-A


气体质量流量控制器(MFC)和气体质量流量计(MFM)用于对气体的质量流量进行 精密控制和测量。它们在半导体集成电路工艺、特种材料、化学工业、石油工业、医药、环 保和真空等多种领域的科研和生产中有着重要的应用。其典型的应用场合包括: 集成电路工 艺设备, 如外延炉、扩散炉、CVD、等离子刻蚀机、溅射台、离子注入机; 以及镀膜设备、 光纤熔炼设备、微反应装置、混气配气系统、气体取样装置、毛细管测量仪、气相色谱仪及 其它分析仪器。


产品用途;
气体质量流量控制器(MFC)和气体质量流量计(MFM)用于对气体的质量流量进行 精密控制和测量。它们在半导体集成电路工艺、特种材料、化学工业、石油工业、医药、环 保和真空等多种领域的科研和生产中有着重要的应用。其典型的应用场合包括: 集成电路工 艺设备, 如外延炉、扩散炉、CVD、等离子刻蚀机、溅射台、离子注入机; 以及镀膜设备、 光纤熔炼设备、微反应装置、混气配气系统、气体取样装置、毛细管测量仪、气相色谱仪及 其它分析仪器。


技术资料;

产品型号 CS200-A型
产品类型 高精度型,快响应型,数字型,低零漂及温漂型,抗电磁干扰
流量量程 5sccm,10sccm,20sccm,30sccm,50sccm,100sccm,200sccm,300sccm,500sccm,
1slm,2slm,3slm,5slm,10slm,20slm,30slm,50slm
产品精度 ±0.35%F.S.(<35% F.S.) ±1.0% S.P.(≥35% F.S.)
重复精度 ±0.2% FS
线性 ±0.5% F.S.
响应时间 ≤1sec
工作温度范围 (5~45)°C
耐压 3MPa
密封材料 氟橡胶Viton
输入输出信号 (0~5)VDC,(0~20)mA,(4~20)mA,RS-485,DeviceNet,Profibus
电源 ±15V,24V,±8 ~ ±16 VDC or +14 ~ +28 VDC
阀类型 常开(流量量程≤30slm)或常闭
温度系数 Span: ≤±0。1% F。S。/℃(≤30slm),Zero: ≤±0。05% F。S。/℃
零点飘移指标 <0。6%F。S。 per year without autozero
电气连接 Profibus,D sub 15 pins Male,D sub 9 pins Male,DeviceNet Male
工作压差范围 (0。05~0。35) MPa (F。S。≤10slm),(0。1~0。35)MPa(10slm≤F。S。≤30slm),(0。2~0。45) MPa(30slm<F。S。)
漏率 1×10-9atm•cc / sec He(1×10-10 Pa•m3 / sec He)
标准接头形式 双卡套1/4”(满量程≤30slm),双卡套1/8”(满量程≤5slm),双卡套Φ3 (仅适用于满量程≤5slm产品),双卡套Φ6(仅适用于满量程≤30slm产品),双卡套Φ10,双卡套3/8”,VCR1/4”,VCO1/4”
表面化学成分 - 无 -
表面粗糙度 25µinch
抗电磁干扰 CE
重量 1Kg

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