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单通道供气箱

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型号:KT-S1Z


气体质量流量控制器(MFC)用于对气体的质量流量进行 精密控制和测量。它们在半导体集成电路工艺、特种材料、化学工业、石油工业、医药、环 保和真空等多种领域的科研和生产中有着重要的应用。其典型的应用场合包括: 集成电路工 艺设备, 如外延炉、扩散炉、CVD、等离子刻蚀机、溅射台、离子注入机; 以及镀膜设备、 光纤熔炼设备、微反应装置、混气配气系统、气体取样装置、毛细管测量仪、气相色谱仪及 其它分析仪器。

产品用途;
气体质量流量控制器(MFC)用于对气体的质量流量进行 精密控制和测量。它们在半导体集成电路工艺、特种材料、化学工业、石油工业、医药、环 保和真空等多种领域的科研和生产中有着重要的应用。其典型的应用场合包括: 集成电路工 艺设备, 如外延炉、扩散炉、CVD、等离子刻蚀机、溅射台、离子注入机; 以及镀膜设备、 光纤熔炼设备、微反应装置、混气配气系统、气体取样装置、毛细管测量仪、气相色谱仪及 其它分析仪器。

技术资料;

产品型号 KT-S1Z
产品类型 高精度型/流量累计型
可选量程 20sccm,30sccm,50sccm,100sccm,200sccm,300sccm
500sccm,1slm,2slm,3slm,5slm,10slm
产品精度 ±1%F.S.
重复精度 ±0.2% FS
线性 ±1%F.S.
响应时间 ≤4sec
工作温度范围 (5~45)°C
供电电源 ~85-265VAC 50/60Hz
最大功耗 12W
耐压 0.6MPa
连接管道 φ4-6mm316不锈钢管道
截止阀类型 针阀
单向阀开启压力 0.02Mpa
压力表量程 0-0。6Mpa
气体缓冲罐
可选进出气口接头形式 3MM 6MM 1/8mm 1/4mm 双卡套接头
外形尺寸 320X260X180
重量 7.2KG

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