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双通道供气系统

双通道供气系统

型号:KT-S2Z


应用于集成电路工 艺设备, 如外延炉、扩散炉、CVD、等离子刻蚀机、溅射台、离子注入机; 以及镀膜设备、 光纤熔炼设备、微反应装置、混气配气系统、气体取样装置、毛细管测量仪、气相色谱仪及 其它分析仪器。

产品用途;
气体质量流量控制器(MFC)用于对气体的质量流量进行 精密控制和测量。它们在半导体集成电路工艺、特种材料、化学工业、石油工业、医药、环 保和真空等多种领域的科研和生产中有着重要的应用。其典型的应用场合包括: 集成电路工 艺设备, 如外延炉、扩散炉、CVD、等离子刻蚀机、溅射台、离子注入机; 以及镀膜设备、 光纤熔炼设备、微反应装置、混气配气系统、气体取样装置、毛细管测量仪、气相色谱仪及 其它分析仪器。

技术资料;

产品型号 KT-S2Z
产品类型 高精度型/快速响应型
可选量程 20sccm,30sccm,50sccm,100sccm,200sccm,300sccm,500sccm,1slm,2slm,3slm,5slm,10slm
产品精度 ±1%F.S.(20slm 30slm ±2%F.S.)
重复精度 ±0.2% FS
线性 ±0.5% F.S.
响应时间 ≤2sec
工作温度范围 (5~45)°C
供电电源 ~85-265VAC 50/60Hz
最大功耗 20W
耐压 0.6MPa
连接管道 φ4-6mm316不锈钢管道
截止阀类型 针阀
单向阀开启压力 0.02Mpa
压力表量程 0-0.6Mpa
气体缓冲罐
流量累计
可选进出气口接头形式 3MM 6MM 1/8mm 1/4mm 双卡套接头
抗电磁干扰 CE
外形尺寸 430X185X380
重量 16KG

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