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恒压真空泵

KT-PID1000Z是一款真空恒压控制系统,系统支持4立方-16立方每小时抽速的各种型号双级旋片机械泵,通过线性阀门控制真空泵的抽气速率,进而获得对腔室内压力的精密测量和恒压控制,可与我公司的管式炉、镀膜仪,封口机等设备结合,实现PVD、CVD以及PECVD等工艺的压力恒定的精确控制。广泛应用于扩散、氧化、外延、CVD、等离子溅射以及镀膜工艺、光纤熔炼、混气配气系统及其它分析仪器中。


技术参数:

控制方式:PID算法控制

控制范围:1000Pa-1Pa (根据腔体大小 真空泵最大抽气速率)

PID调节抽速率范围:0-100%

支持真空泵:4-16立方米每小时抽气速率

抽气口真空法兰:KF16 KF25  KF40