云南11选5走势图

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CS系列数字式质量流量控制器

CS200A系列数字式质量流量控制器.高精度型,快响应型,数字型,低零漂及温漂型,抗电磁干扰
CS200A 数字式气体质量流量控制器

产品型号:CS200-A型
产品系列:CS系列数字式质量流量控制器
产品类型:高精度型,快响应型,数字型,低零漂及温漂型,抗电磁干扰

 

型号 CS200-A
阀类型 常开(流量规格≤30SLM) 或常闭
流量规格(N2) (0~5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM
(0~1,2,3,5,10,20,30,50)       SLM
准确度 ±1.0% S.P. (≥35% F.S.)
±0.35% F.S.(<35% F.S.)
线性 ±0.5% F.S.
重复精度 ±0.2% F.S.
响应时间 ≤ 1sec
工作压差范围 0.05~0.35MPa 流量规格≤10SLM
0.1~0.35MPa 10<流量规格≤30SLM
0.2~0.45MPa   30<流量规格≤50SLM
<0.02 MPa
温度系数

零点: ≤±0.05% F.S/℃;

调节时: ≤±0.1% F.S/℃   流量规格≤30SLM;

调节时: ≤±0.2% F.S/℃   流量规格>30SLM

耐压 3MPa
漏率 1×10-10 Pa·m3 / sec He
密封材料 氟橡胶;
工作环境温度 (5~45)℃
输入信号

数字: RS485 或 DeviceNet 或 ProfiBus

模拟:(0~5)VDC 或(4~20)mA 或(0~20)mA

输出信号

数字:RS485 或 DeviceNet 或 ProfiBus

模拟:(0~5)VDC 或(4~20)mA 或(0~20)mA

零漂 在没有零点校正时<0.6%F.S/年
电源 ±8 ~ ±16 VDC (双极)或 +14 ~ +28 VDC (单极)
表面化学成分 常态
表面粗糙度 25 Ra
标准接头形式 双卡套 φ6;双卡套 1/4´´;双卡套 3/8´´;VCR1/4´´阳接头;双卡套φ3;
双卡套 1/8´´;VCO 1/4";φ6(内)x1 软管接头; φ5(内)x1.5 软管接头; φ4(内)x1 软管接头;双卡套φ10mm;A 型密封接头;
电源接头形式 D型9 针阳接头;D 型 15 针阳接头;DeviceNet 接头; ProfiBus 接头;模拟接头
重量 1 Kg 0.8Kg

 

 

 

型号

CS200-A

阀类型

常开(流量规格≤30SLM) 或常闭

流量规格(N2)

(0~5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM
(0~1,2,3,5,10,20,30,50)       SLM

准确度

±1.0% S.P. (≥35% F.S.)
±0.35% F.S.(<35% F.S.)

线性

云南11选5走势图±0.5% F.S.

重复精度

±0.2% F.S.

响应时间

≤ 1sec

工作压差范围

0.05~0.35MPa 流量规格≤10SLM
0.1~0.35MPa 10<流量规格≤30SLM
0.2~0.45MPa   30<流量规格≤50SLM

<0.02 MPa

温度系数

云南11选5走势图零点: ≤±0.05% F.S/℃;

云南11选5走势图调节时: ≤±0.1% F.S/℃   流量规格≤30SLM;

云南11选5走势图调节时: ≤±0.2% F.S/℃   流量规格>30SLM

耐压

3MPa

漏率

1×10-10 Pa·m3 / sec He

密封材料

氟橡胶;

工作环境温度

(5~45)℃

输入信号

数字: RS485 或 DeviceNet 或 ProfiBus

云南11选5走势图模拟:(0~5)VDC 或(4~20)mA 或(0~20)mA

输出信号

数字:RS485 或 DeviceNet 或 ProfiBus

模拟:(0~5)VDC 或(4~20)mA 或(0~20)mA

零漂

在没有零点校正时<0.6%F.S/年

电源

±8 ~ ±16 VDC (双极)或 +14 ~ +28 VDC (单极)

表面化学成分

常态

表面粗糙度

25 Ra

标准接头形式

双卡套 φ6;双卡套 1/4´´;双卡套 3/8´´;VCR1/4´´阳接头;双卡套φ3;
云南11选5走势图 双卡套 1/8´´;VCO 1/4";φ6(内)x1 软管接头; φ5(内)x1.5 软管接头; φ4(内)x1 软管接头;双卡套φ10mm;A 型密封接头;

电源接头形式

D型9 针阳接头;D 型 15 针阳接头;DeviceNet 接头; ProfiBus 接头;模拟接头

重量

1 Kg

0.8Kg

 

 

 

注意 :

气体质量流量计和质量流量控制器出厂通常用氮气(N2)标定。

质量流量的单位规定为:SCCM (标准毫升/分);

                                        SLM (标准升/分)

标准状态规定为:温度 —— 273.15K ( 0°C );

                             气压 —— 101325 Pa (760mm Hg)

在七星电子 MFC/MFM 产品中心,单位 SCCM 和“mL/min,0°C,1atm”等同,单位 SLM 和“L/min, 0°C,1atm”等同。
F.S. (Full Scale):满量程值;S.P.(Set Point): 设定点值