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D07系列气体质量流量控制器

D07-19B系列模拟质量流量控制器 高精度型,快响应型  流量控制  流量检测  国际兼容用于对气体的质量流量进行精密地测量和控制。广泛用于电子工艺设备、真空镀膜、石油化工、冶金、制药、光纤熔炼、分析测量仪器、制气配气等行业
D07-19B 气体质量流量控制器

产品型号:D07-19B   (流量控制  流量检测)
产品系列:D07系列模拟质量流量控制器
产品类型:高精度型,快响应型

★高精度,快响应型

 

★橡胶密封、模拟电路的MFC

 

★采用DB15型电插头,国际标准机械接头

 

★国际兼容用于对气体的质量流量进行精密地测量和控制。广泛用于电子工艺设备、真空镀膜、石油化工、冶金、制药、光纤熔炼、分析测量仪器、制气配气等行业

 

 

产品型号 D07-19B
产品类型 高精度型,快响应型
流量量程 5sccm,10sccm,20sccm,30sccm,50sccm,100sccm,200sccm,300sccm,500sccm,1slm,2slm,3slm,5slm,10slm,20slm,30slm
产品精度 ±1%F.S.(20slm 30slm ±2%F.S.)
重复精度 ±0.2% FS
线性 ±0.5% F.S.
响应时间 ≤2sec
工作温度范围 (5~45)°C
耐压 3MPa
密封材料 氟橡胶Viton,氯丁橡胶(耐氨橡胶) Neoprene,聚四氟乙烯 Teflon
输入输出信号 (0~5)VDC
电源 ±15V
阀类型 常闭
温度系数 - 无 -
零点飘移指标 - 无 -
电气连接 D sub 15 pins Male
工作压差范围 (0.1~0.3) MPa,(0.1~0.5) MPa
漏率 1×10-9atm•cc / sec He(1×10-10 Pa•m3 / sec He)
标准接头形式 双卡套1/8”(满量程>10slm不适用),双卡套Φ3(满量程>10slm不适用),双卡套Φ6,双卡套Φ10,双卡套3/8”,φ4(内)×1软管接头,VCR1/4”,双卡套1/4”,φ6(内)×1软管接头
表面化学成分 - 无 -
表面粗糙度 - 无 -
抗电磁干扰 CE
重量 0.95kg