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Zhengzhou Ketan Instrument Equipment Co., Ltd.                  0371-60308298

D07系列大量程气体质量流量控制器

D07-60B气体质量流量控制器   高精度 重复性好 快响应型 超大流量计型  广泛用于电子工艺设备、真空镀膜、石油化工、冶金、制药、光纤熔炼、分析测量仪器、制气配气等行业
D07-60B 气体质量流量控制器

产品型号:D07-60BM
  高精度 重复性好 快响应型 超大流量计型

  橡胶密封  模拟电路的MFC

  国际标准机械接头

 

 

主要技术指标

编号 项     目 D07-60BM
1 流量规格 300,500,750,1000,1500,2000SLM
2 准确度 ± 2% F.S.
3 线性 ±1% F.S.
4 重复精度 ±0.2%F.S.
5 响应时间 < 10   sec
6 工作压差范围 <0.2 MPa
7 耐压 3 MPa
8 工作环境温度 5~ 45 ℃
9 输入信号
10 输出信号  0~5.00V(输出电流≤3mA)
11 阀的类型
12 电源 +15V         50 mA
-15V          50 mA
13 外形尺寸  见图 3a、3b、3c、3d
14 重量 5kg

注意:

质量流量计和质量流量控制器出厂通常用氮气(N2)标定。

质量流量的单位规定为:      SCCM  (标准毫升/分);

            SLM    (标准升/分)

标准状态规定为:    温度 ---  273.15K   ( 0℃ );

                              气压 —  101325 Pa  (760mm Hg)

在七星电子MFC/MFM产品中,单位SCCM和“mL/min, 0℃,1atm”等同,单位SLM和“L/min, 0℃,1atm”等同。

F.S. (Full Scale):    满量程值