云南11选5走势图

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D07系列质量流量控制器

D07-7CM型 质量流量控制器 ★高性能价格比、普通型产品 ★橡胶密封、模拟电路的MFC ★7B型的更新换代型 ★管状分流,使用寿命长用途: 质量流量控制器(MFC)用于对气体的质量流量进行精密地测量和控制。广泛用于电子工艺设备、真空镀膜、石油化工、冶金、制药、光纤熔炼、分析测量仪器、制气配气等行业。

D07-7C型 质量流量控制器

★高性能价格比、普通型产品

★橡胶密封、模拟电路的MFC

★7B型的更新换代型

★管状分流  使用寿命长

用途:质量流量控制器(MFC)用于对气体的质量流量进行精密地测量和控制。广泛用于电子工艺设备、真空镀膜、石油化工、冶金、制药、光纤熔炼、分析测量仪器、制气配气等行业。

主要技术指标

 

编号

项目

D07-7CM型

1

流量规格

云南11选5走势图( 0~5,10,20,30,50,100,200,300,500)    SCCM

( 0~1,2,3,5,10)                                    SLM

2

准确度

云南11选5走势图±1.5  % F.S

3

线性   

±1 % F.S

4

重复精度

云南11选5走势图±0.2 %F.S

5

响应时间

云南11选5走势图10  sec

6

气压降

<0.01 MPa

7

耐压

3  MPa

8

工作环境温度

5 ℃ ~ 45 ℃

9

输出信号

0 V ~ +5.00 V(输入阻抗大于100K, 输出电流不大于3mA)

10

电源

云南11选5走势图+15 V   50 mA

云南11选5走势图-15 V   50 mA

11

外形尺寸

见图5

12

重量

0.92  kg

 

 

注意质量流量计和质量流量控制器出厂通常用氮气(N2)标定。

质量流量的单位规定为:    SCCM  (标准毫升/分);

             SLM    (标准升/分)

标准状态规定为:      温度 ---  273.15K   ( 0℃ );

                                气压 —  101325 Pa  (760mm Hg)

在七星电子MFC/MFM产品中心,单位SCCM和“mL/min, 0℃,1atm”等同,单位SLM和“L/min, 0℃,1atm”等同。

F.S (Full Scale):     满量程值