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D07系列质量流量控制器

D07-26C质量流量控制器 它们在半导体微电子工业、特种材料研制、化学工业、石油工业、医药、环保和真空等多种领域的科研和生产中有着重要的应用。其典型的应用场合包括; 电子工艺设备, 如扩散、氧化、外延、CVD、等离子刻蚀、溅射、离子注入; 以及真空镀膜设备、光纤熔炼、微反应装置、混气配气系统、毛细管测量、气相色谱仪及其它分析仪器。

 

D07 系列质量流量控制器和质量流量计一般与 D08 系列流量显示仪等产品配套使用, 控制器与显示仪之间用专用电缆连接(如图 1 所示)。

 

主要技术指标

 

编号

项目

D07-26C

1

流量规格

(20,30,50,100,200,300,500)  SCCM

( 0~1,2,3,5,10)                     SLM

2

准确度

±1.5 % F.S.  

3

线性

±1% F.S.

4

重复精度

±0.2 % F.S.

5

响应时间

≤10 sec

6

工作压差范围

0.1 ~ 0.5 MPa

7

耐压

云南11选5走势图3 MPa  

8

温度系数

Zero: ≤±0.2% F.S./℃; Span: ≤±0.2% F.S./℃;

9

工作环境温度

5 ℃ ~ 45 ℃

10

输入信号

0 V ~ +5.00 V

11

输出信号

0 V ~ +5.00 V

12

电插头形式

DB15 pin(Female)

13

电源

云南11选5走势图+15 V  50 mA                

-15V 200 mA

14

外形尺寸

见图4

15

重量    

1.1 kg

 

注意:质量流量计和质量流量控制器出厂通常用氮气(N2)标定。

质量流量的单位规定为:  SCCM (标准毫升/分)

                                          SLM (标准升/分);

标准状态规定为:   温度 --- 273.15K ( 0°C );

                             气压 — 101325 Pa (760mm Hg)

在七星电子 MFC/MFM 产品中心,单位 SCCM 和“mL/min, 0°C,1atm”等同,单位 SLM 和“L/min, 0°C,1atm”等同。

F.S (Full Scale): 满量程值