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PECVD等离子增强型气象化学沉积系统

PECVD等离子增强型气象化学沉积系统

云南11选5走势图型号:KT-PE1280


PECVD系统就是为了使传统的化学气象沉积(CVD)反应温度降低,在普通CVD装置的前端加入RF射频感应装置将反应气体电离,形成等离子体,利用等离子体的活性来促进反应,所以这个系统称为增强型化学气相沉积系统(PECVD)。 该型号PECVD综合了国内大多数厂家的管式PECVD系统的优点,在PECVD前端加入了气体预热区,实验证明此结构沉积速度快,成膜质量好,针孔较少,不易龟裂。而且控制部分采用了成仪自主研发的实验电炉AIO全自动智能控制系统,使得操作更加简便,功能更加强大。


主要特点:
1. 气体预热——增加前端气体预热区,沉积速度更快,成膜效果更好;
2. AIO控制系统——加热控制、等离子射频控制、气体流量控制、真空系统控制集中于一个7英寸触摸屏进行统一集中调节和操控,协调控制——科探AIO控制系统;
3. 管内压力自动平衡——管内压力实时监测,自动平衡管内压力。
4. 智能气路通断——每路气体均可定时通断,省时省力;
5. 射频功率和开关定时控制——预先设定好功率的大小和打开与关闭的时间,自动运行;
6. 炉膛移动速度可调——根据实验要求,用户可设定炉膛左右移动的速度可距离;
7. 整机结构融为一体——移动方便,避免分散组装的困扰。
详细参数:

加热炉部分
1 炉膛模式 开启式电阻丝炉膛
2 显示模式 高清7英寸工业触摸屏
3 极限温度 1200℃
4 工作温度 ≤1150℃ 长时间使用
5 升温速率 建议10℃/Min   Max:30℃/Min
6 炉体移动 主加热温区均匀移动(自动)
7 预加热温区长度 200mm
8 主温区长度 400mm
9 炉管规格 80*2000 mm
10 控温精度 ±1℃
11 密封方式 快速法兰密封
12 温度曲线 30段"时间—温度曲线"任意可设
13 预存曲线 可预存15条温度曲线,供随时调取
14 超温报警
15 过流保护
16 断偶提示
17 测温元件 K型热电偶
18 炉膛材料 高密度氧化铝纤维
19 整机尺寸 2100*600*1400MM
射频电源功率
1 信号频率 13。56 MHz±0。005%
2 功率输出范围 5W-300W
3 最大反射功率 <70W
4 功率稳定度 ±0。1%
5 谐波分量 ≤-50dbc
6 供电电压 单相交流(187V-253V) 频率50/60HZ
7 整机效率 >=70%
8 功率因素 >=90%
9 冷却方式 强制风冷
真空部分
1 工作电电压 220V±10%  50~60HZ
2 功率 500W
3 抽气速率 4L\s
4 进气口口径 KF25
5 排气口口径 KF25
6 转速 1450rpm
7 噪音 <56dB
8 极限真空 10Pa
气路系统
1 流量计类型 质量流量计
2 气体通道 3通道气体(不含有毒,腐蚀气体)
3 量程范围 2-100ml 每分钟
5-200ml每分钟
10-500ml每分钟
(气体量程范围根据实际实验需求选配)
4 精度 ±1%F.S.(满量程的百分之一)
5 重复精度 ±0.2% FS
6 线性 ±1%F.S.
7 响应时间 ≤4sec
8 工作温度范围 (5~45)°C
9 进气压力 ≤0。3MPA
10 进出气接口 6mm双卡套
整机系统特色
1 正压测量 -100Kpa---100Kpa
2 真空测量 10-2Pa ~100Kpa(支持Ar测量)
3 正压保护 支持
4 压力恒定 支持
5 智能气路 支持
6 气路定时 支持
7 射频工作时间设定 支持
8 自动移动 支持
9 系统真空度 5Pa
10 软件功能 1:射频电源开启时间,可以设定,时间到后自动停止射频电源。
2:自动切换气体功能,不同温度通入不同气体,(或者根据要求进行定做,选配项目)
3:自动检测真空度,根据真空度的大小,自动启动射频电源。
4:真空泵自动启动,根据真空度,系统自动判断是否需要启动真空泵。
5.超压保护。
6:其他功能根据要求定做

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